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2017-08-08 发布于北京

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上海兄弟微电子技术有限公司

特气柜/架，VMB/VMP 简介

名词：

GC—Gas Cabinet 气瓶柜(用于危害性气体)

GR—Gas Rack 气瓶架(用于危害性气体)

VMB—Valve Manifold Box 阀门箱(用于危害性气体)

VMP—Valve Manifold Panel 阀门盘(用于危害性气体)

特气柜和 VMB 主要用于易燃易爆腐蚀有毒等危害性气体，而气瓶架和 VMP 一般用于非危害性气

体；主要区别在于，特气柜和 VMB 都要有一个外壳上有抽风管，当发生小泄露等危险情况时可将此类

气体排出去避免扩散产生更大危险。

(一) Gas Cabinet / Gas Rack 特气柜/气瓶架/特气盘面 :

1. 功能设计

可分为单钢瓶(1process)/ 双钢瓶( 2 Process ) / 三钢瓶(2 Process + 1 N2)

气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种：分别为单钢瓶、双钢瓶、三钢瓶。

（1）单钢的设计通常使用于研究机构或实验室等。工艺制程尚未有量产，气体使用量小，现场

可随时协调停机进行钢瓶之更换，其优点节省空间、成本低、但需透过日常之管理与协调以免

中断工艺制程造成损失。

（2 ）双钢与三钢常用于量产工厂，工艺制程不允许停机情况，当一支钢瓶使用完后，另一支备

用钢瓶（stand by ）会自动转为供气，此两种形式最大的差别是在 purge 管路的纯化氮气是以

钢瓶或厂务端供应，当 purge 用的 PN2 统一由厂务端来供应时，所有特殊气体供应系统不管

是否相容，全部连接到同一个供应源，会有较高的风险值；万一中央供应系统的 PN2 中断，

警报系统又损坏，恰巧两种不相容的气体同时使用 purge，此时极有可能发生爆炸的事件发生，

相同性质可使用同一瓶钢瓶来 purge 增加的成本及空间非常有限，是一种非常好的应变方式。

（3 ）三钢气柜成本不会差很多安全性会是最好的，只要空间允许应最优先选择。

2 ．操作性设计：

一般气瓶柜都设计有两个特殊气体钢瓶，需自动切换的功能以达到连续供应不断气的目的，气态

气体通常以压力感应器来计算钢瓶的剩余量，若是液态蒸气压气体则以电子磅秤来侦测剩余量，当一瓶

用完时会切换到另一瓶。

操作上一般可分为全自动、半自动、手动三种方式。

全自动半自动的主要区别如下：

功能半自动特气柜全自动特气柜

满足设备工艺要求是是

自动切换有有

预留出口可以可以

紧急切断有有

远程关断有有

过流限制可选可选

PLC 控制是是

UV 探测无可以

自动吹扫无是

操作权限无可分三级，参数设置和一般操作.

安全报警 LED 显示触摸屏

流程显示丝网印刷触摸屏

上海兄弟微电子技术有限公司

全自动特气柜 (Automatic Gas Cabinet) 半自动特气柜 (Semi-auto Gas Cabinet)

图片设备为上海兄弟微电子技术有限公司制造图片设备为上海兄弟微电子技术有限公司制造

通常换钢瓶时会执行下列几种 Purge：

(a)Pre-purge(换钢瓶前)

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